[实用新型]一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备有效
| 申请号： | 202221035056.7 | 申请日： | 2022-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN217981552U | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 李光;张泽业;王其生;李玉俊 | 申请（专利权）人： | 马达西奇（苏州）智能装备科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京深川专利代理事务所(普通合伙) 16058 | 代理人： | 张彦 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市相城*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及治具技术领域，且公开了一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，包括测试底座和测试底座上的零点底座，所述测试底座上还转动连接有测试机，所述测试机上安装有定位拉钉，所述零点底座上还设置有用于夹持定位拉钉的零点锁紧机构，所述零点锁紧机构包括设置在零点底座上的定位孔，所述定位拉钉用于滑动连接在定位孔的内部，且所述定位拉钉与定位孔相适配。本实用新型通过向上推动连接板，使得连接板抵触在定位拉钉上，从而利用连接板固定定位拉钉，以此减小测试机的震动，提高检测精准度，通过排出空腔内部的空气，使得空腔内部的气压减小，利用弹性部件推动连接板复位，从而实现连接板自动挤压在定位拉钉上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 prober 定位 设备 | ||
【主权项】：
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