[实用新型]一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备

说明书

本实用新型涉及治具技术领域，且公开了一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，包括测试底座和测试底座上的零点底座，所述测试底座上还转动连接有测试机，所述测试机上安装有定位拉钉，所述零点底座上还设置有用于夹持定位拉钉的零点锁紧机构，所述零点锁紧机构包括设置在零点底座上的定位孔，所述定位拉钉用于滑动连接在定位孔的内部，且所述定位拉钉与定位孔相适配。本实用新型通过向上推动连接板，使得连接板抵触在定位拉钉上，从而利用连接板固定定位拉钉，以此减小测试机的震动，提高检测精准度，通过排出空腔内部的空气，使得空腔内部的气压减小，利用弹性部件推动连接板复位，从而实现连接板自动挤压在定位拉钉上。

技术领域

本实用新型涉及治具技术领域，具体为一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备。

背景技术

随着社会经济的快速发展，在半导体行业中，晶圆测试技术壁垒相当之高其整体测试精度控制更是要求极高，晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针，与晶粒上的接点接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片以晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被淘汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本，在晶圆制造完成之后，晶圆测试是一步非常重要的测试，这步测试是晶圆生产过程的成绩单。在测试过程中，每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。

但是，现有的测试设备在检测晶圆体时，检测设备可能会产生震动，进而影响检测结果，从而造成检测精准度不高的问题。

实用新型内容

本实用新型提供了一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，具备精准度高的有益效果，解决了上述背景技术中所提到现有的测试设备在检测晶圆体时，检测设备可能会产生震动，进而影响检测结果，从而造成检测精准度不高的问题。

本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，包括测试底座和测试底座上的零点底座，其特征在于：所述测试底座上还转动连接有测试机，所述测试机上安装有定位拉钉，所述零点底座上还设置有用于夹持定位拉钉的零点锁紧机构；

所述零点锁紧机构包括设置在零点底座上的定位孔，所述定位拉钉用于滑动连接在定位孔的内部，且所述定位拉钉与定位孔相适配，所述零点底座的内部还连接有连接板，所述连接板用于抵触在定位拉钉上。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述连接板与零点底座之间设置有空腔，所述连接板上安装有第二密封板，所述第二密封板与零点底座的内部相贴合，所述连接板上还安装有第一密封板，所述第一密封板与零点底座的内部相贴合，所述零点底座的内部还安装有弹性部件，所述弹性部件与连接板相连接。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述定位拉钉上设置有凹槽，所述连接板上连接有卡球，所述卡球用于连接在凹槽的内部。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述零点底座的底部还安装有气管，所述气管上连接有气管接头，所述气管接头与空腔相连通。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述零点底座上还安装有触摸屏一体机固定板，所述触摸屏一体机固定板上安装有一体机放置盒，所述一体机放置盒的内部安装有一进四出气管汇流板，所述一进四出气管汇流板与气管相连接。

作为本实用新型所述晶圆测试机与Prober定位锁紧设备的一种可选方案，其中：所述一体机放置盒上还安装有外接进气管，所述一体机放置盒的内部还安装有电磁阀，所述电磁阀与外接进气管相连接，所述电磁阀上连接有气管快插三通头，所述气管快插三通头的两侧均连接有输送气管，其中一个所述输送气管与一进四出气管汇流板相连接，所述零点底座的内部还安装有光电开关，所述定位拉钉用于抵触在光电开关上，且所述光电开关与电磁阀电信连接。