[实用新型]一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备

权利要求书

1.一种晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，包括测试底座(1)和测试底座(1)上的零点底座(5)，其特征在于：所述测试底座(1)上还转动连接有测试机(3)，所述测试机(3)上安装有定位拉钉(4)，所述零点底座(5)上还设置有用于夹持定位拉钉(4)的零点锁紧机构(8)；

所述零点锁紧机构(8)包括设置在零点底座(5)上的定位孔(2)，所述定位拉钉(4)用于滑动连接在定位孔(2)的内部，且所述定位拉钉(4)与定位孔(2)相适配，所述零点底座(5)的内部还连接有连接板(15)，所述连接板(15)用于抵触在定位拉钉(4)上。

2.根据权利要求1所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述连接板(15)与零点底座(5)之间设置有空腔(19)，所述连接板(15)上安装有第二密封板(26)，所述第二密封板(26)与零点底座(5)的内部相贴合，所述连接板(15)上还安装有第一密封板(27)，所述第一密封板(27)与零点底座(5)的内部相贴合，所述零点底座(5)的内部还安装有弹性部件(17)，所述弹性部件(17)与连接板(15)相连接。

3.根据权利要求1所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述定位拉钉(4)上设置有凹槽(13)，所述连接板(15)上连接有卡球(16)，所述卡球(16)用于连接在凹槽(13)的内部。

4.根据权利要求2所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述零点底座(5)的底部还安装有气管(12)，所述气管(12)上连接有气管接头(11)，所述气管接头(11)与空腔(19)相连通。

5.根据权利要求4所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述零点底座(5)上还安装有触摸屏一体机固定板(7)，所述触摸屏一体机固定板(7)上安装有一体机放置盒(21)，所述一体机放置盒(21)的内部安装有一进四出气管汇流板(25)，所述一进四出气管汇流板(25)与气管(12)相连接。

6.根据权利要求5所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述一体机放置盒(21)上还安装有外接进气管(22)，所述一体机放置盒(21)的内部还安装有电磁阀(14)，所述电磁阀(14)与外接进气管(22)相连接，所述电磁阀(14)上连接有气管快插三通头(20)，所述气管快插三通头(20)的两侧均连接有输送气管(24)，其中一个所述输送气管(24)与一进四出气管汇流板(25)相连接，所述零点底座(5)的内部还安装有光电开关(18)，所述定位拉钉(4)用于抵触在光电开关(18)上，且所述光电开关(18)与电磁阀(14)电信连接。

7.根据权利要求1所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述定位孔(2)有四个，所述测试机(3)上还安装有锁紧拉钉(9)，所述锁紧拉钉(9)用于卡扣在定位孔(2)的内部。

8.根据权利要求5所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述一体机放置盒(21)的内部安装有触摸屏一体机(6)，所述零点底座(5)上还安装有折叠把手(10)，所述一体机放置盒(21)上还安装有气压力表(23)，其中另一个输送气管(24)与气压力表(23)相连通。

9.根据权利要求2所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述弹性部件(17)包括弹簧，所述弹簧与连接板(15)相连接。

10.根据权利要求2所述的晶圆测试机与Prober定位锁紧设备，其特征在于：所述弹性部件(17)还包括橡胶块，所述橡胶块与连接板(15)相连接。