[实用新型]真空设备有效
| 申请号： | 202221011232.3 | 申请日： | 2022-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN217376428U | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 朴泰泳;姜锡宙;李俊熙 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | B65G47/91 | 分类号： | B65G47/91 |
| 代理公司： | 北京金宏来专利代理事务所(特殊普通合伙) 11641 | 代理人： | 朴英淑 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 根据各实施例，真空设备包括：下部腔体；上部腔体，与所述下部腔体结合而形成真空状态；以及基板移送部，至少一部分位于所述下部腔体内，并且将基板排出至所述下部腔体之外，所述基板移送部包括：真空维持部，与所述下部腔体的下部面密接；旋转部，与所述真空维持部连接，并且位于所述下部腔体的内部；一对宽度调节部，与所述旋转部连接；一对臂部，所述一对臂部中的一个臂部与所述一对宽度调节部中的一个宽度调节部连接，并且所述一对臂部中的另一个臂部与所述一对宽度调节部中的另一个宽度调节部连接；以及多个吸附部，位于所述一对臂部的一侧末端。 | ||
| 搜索关键词： | 真空设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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