[实用新型]高安全型离子束沉积设备的冷却辊

摘要

本实用新型公开高安全型离子束沉积设备的冷却辊，属于离子束沉积设备技术领域，包括辊体，所述辊体的两端皆设置有支撑轴套，所述支撑轴套的内部皆设置有卡接头，所述辊体的内壁上均匀固定有环形管，所述环形管的内部皆固定有隔板，环形管的内部设置有导流腔，所述导流腔位于隔板之间，所述导流腔的一端安装有第一分流管，所述导流腔的另一端安装有第二分流管。本实用新型辊体内部多组均匀排布的环形管的设置，通过环形管内部的隔板将环形管内部的空间分隔成不同的导流腔，再利用导流腔两端的第一分流管、第二分流管分别与进水管、排水管之间导通，能够减少冷却水在环形管内部的停留时间，继而确保了使用过程中的冷却效果。