[实用新型]一种微差压传感器有效
| 申请号： | 202220962071.X | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN217155683U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 姬程鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡宏芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/04 | 分类号： | G01L13/04;G01L19/00 |
| 代理公司： | 无锡风创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32461 | 代理人： | 邱国栋 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种传感器，尤其是一种微差压传感器，包括mems热式流量传感器，还包括：检测流道，检测流道包括依次设置的进气孔、第一节流孔、检测孔、第二节流孔和出气孔，其中，第一节流孔和第二节流孔的直径均小于进气孔、检测孔和出气孔，且第一节流孔与第二节流孔的直径相同，进气孔与出气孔的直径相同，mems热式流量传感器安装在检测孔内。该传感器在进气口与出气口压力不同时，气流会通过节流小孔和检测孔流经传感器，进气孔和出气孔的压力与mems热式流量传感器表面的流速是一一对应关系，通过测量mems热式流量传感器表面的流速来测量进气孔和出气孔两端的压力差，检测精度高、信号灵敏、零点漂移小。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微差压 传感器 | ||
【主权项】：
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