[实用新型]一种微差压传感器

说明书

本实用新型涉及一种传感器，尤其是一种微差压传感器，包括mems热式流量传感器，还包括：检测流道，检测流道包括依次设置的进气孔、第一节流孔、检测孔、第二节流孔和出气孔，其中，第一节流孔和第二节流孔的直径均小于进气孔、检测孔和出气孔，且第一节流孔与第二节流孔的直径相同，进气孔与出气孔的直径相同，mems热式流量传感器安装在检测孔内。该传感器在进气口与出气口压力不同时，气流会通过节流小孔和检测孔流经传感器，进气孔和出气孔的压力与mems热式流量传感器表面的流速是一一对应关系，通过测量mems热式流量传感器表面的流速来测量进气孔和出气孔两端的压力差，检测精度高、信号灵敏、零点漂移小。

技术领域

本实用新型涉及一种传感器，尤其是一种微差压传感器。

背景技术

现有的差压传感器一般采用薄膜式，在薄膜上加工出电阻桥，当薄膜两侧压力变化后引起形变和电阻变化，通过测量电阻的变化来测量压力信号。但是薄膜式差压传感器由于需要引起薄膜的形变，精度低，零点漂移较大，小信号灵敏度低，长期工作后易漂移。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种测量精度高、漂移小、灵敏度高的一种微差压传感器，具体技术方案为：

一种微差压传感器，包括mems热式流量传感器，还包括：检测流道，所述检测流道包括依次设置的进气孔、第一节流孔、检测孔、第二节流孔和出气孔，其中，所述第一节流孔和所述第二节流孔的直径均小于所述进气孔、所述检测孔和所述出气孔，且所述第一节流孔与所述第二节流孔的直径相同，所述进气孔与所述出气孔的直径相同，所述mems热式流量传感器安装在所述检测孔内。

优选的，所述检测流道的长宽比大于5。

与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的一种微差压传感器在进气口与出气口压力不同时，气流会通过节流小孔和检测孔流经传感器，进气孔和出气孔的压力与mems热式流量传感器表面的流速是一一对应关系，通过测量mems热式流量传感器表面的流速来测量进气孔和出气孔两端的压力差，检测精度高、信号灵敏、零点漂移小。

附图说明

图1是一种微差压传感器的结构示意图。

具体实施方式

现结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图1所示，一种微差压传感器，包括mems热式流量传感器4和检测流道，检测流道包括依次设置的进气孔1、第一节流孔2、检测孔3、第二节流孔5和出气孔6，其中，进气孔1与出气孔6的直径相同，第一节流孔2与第二节流孔5的直径相同，第一节流孔2和第二节流孔5的直径均小于进气孔1、检测孔3和出气孔6，检测流道的长宽比大于5，mems热式流量传感器4安装在检测孔3内。

其中，检测流道的长宽比大于5是指检测流道长度与进气孔1和出气孔6的直径的比值大于5，保证mems热式流量传感器4表面气流稳定。

采用mems热式流量传感器4测量差压信号，当进气孔1和出气孔6的压力不同时，气流会通过第一节流小孔和流道流经传感器，入气口和出气口的压力与mems热式流量传感器4表面的流速是一一对应关系，通过测量mems热式流量传感器4表面的流速来测量进气孔1和出气孔6两端的压力差

mems热式流量传感器4由于没有活动部件，长期稳定性高，精度高，零点不易漂移，灵敏度高。

节流小孔可以采用不同的直径，从而设计出不同压力量程的产品。

以上结合具体实施例描述了本实用新型的技术原理。这些描述只是为了解释本实用新型的原理，而不能以任何方式解释为对本实用新型保护范围的限制。基于此处的解释，本领域的技术人员不需要付出创造性的劳动即可联想到本实用新型的其它具体实施方式，这些方式都将落入本实用新型权利要求的保护范围之内。