[实用新型]一种微差压传感器有效
| 申请号： | 202220962071.X | 申请日： | 2022-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN217155683U | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 姬程鹏 | 申请（专利权）人： | 无锡宏芯传感科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L13/04 | 分类号： | G01L13/04;G01L19/00 |
| 代理公司： | 无锡风创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32461 | 代理人： | 邱国栋 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 微差压 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种微差压传感器，包括mems热式流量传感器(4)，其特征在于，还包括：检测流道，所述检测流道包括依次设置的进气孔(1)、第一节流孔(2)、检测孔(3)、第二节流孔(5)和出气孔(6)，其中，所述第一节流孔(2)和所述第二节流孔(5)的直径均小于所述进气孔(1)、所述检测孔(3)和所述出气孔(6)，且所述第一节流孔(2)与所述第二节流孔(5)的直径相同，所述进气孔(1)与所述出气孔(6)的直径相同，所述mems热式流量传感器(4)安装在所述检测孔(3)内。
2.根据权利要求1所述的一种微差压传感器，其特征在于，所述检测流道的长宽比大于5。
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