[实用新型]一种基于单一热电偶和悬浮微流体的MEMS热传感器有效
| 申请号： | 202220947127.4 | 申请日： | 2022-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN217103071U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 刘茗;姚雯莉;洪登峰;刘童;王竹卿 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;H01L35/32 |
| 代理公司： | 武汉菲翔知识产权代理有限公司 42284 | 代理人： | 张红 |
| 地址： | 610065 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于单一热电偶和悬浮微流体的MEMS热传感器，涉及传感器技术领域，包括微流体通道和悬吊微桥结构衬底，所述微流体通道包括微流体通道底板、微流体通道壁和微流体通道上顶盖，所述微流体通道底板、微流体通道壁和微流体通道上顶盖按由下至上的顺序重叠排列粘接，所述微流体通道底板设置在悬吊微桥结构衬底上方，所述微流体通道的中部一体成型有微流体通道空腔，所述微流体通道空腔的内部安装有单一热电偶。本实用新型中，实现MEMS热传感器兼具灵敏度高与微型的特点，解决传统MEMS热传感器灵敏度不够高、体积过大的问题，同时，实现MEMS热传感器检测速度快、精准度高，解决传统MEMS热传感器处理时间较长、数据测量不够准确的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 单一 热电偶 悬浮 流体 mems 传感器 | ||
【主权项】：
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