[实用新型]一种晶圆加工用动力夹爪装置有效
| 申请号： | 202220916314.6 | 申请日： | 2022-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN217072407U | 公开（公告）日： | 2022-07-29 |
| 发明（设计）人： | 陈曙光;林坚;王彭 | 申请（专利权）人： | 泓浒（苏州）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B25J15/00 | 分类号： | B25J15/00;B25J15/08;B65G47/90;B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 李晓峰 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆加工用动力夹爪装置，包括固定底座、机械臂、夹爪和动力单元，动力单元安装在固定底座上，动力单元沿着X轴的正方向依次包括机械臂旋转机构和夹爪旋转机构。本实用新型一种晶圆加工用动力夹爪装置，通过机械臂、夹爪和动力单元的结构设置，方便对晶圆盒进行进出料处理，自动化程度较高，提高加工效率；通过机械臂旋转机构可以实现机械臂的旋转操作，通过夹爪旋转机构可以实现夹爪的旋转操作，使用方便，操作简单。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆加 工用 动力 装置 | ||
【主权项】：
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