[实用新型]一种硅晶圆研磨液供料系统有效
| 申请号： | 202220889253.9 | 申请日： | 2022-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN217449932U | 公开（公告）日： | 2022-09-20 |
| 发明（设计）人： | 吴宏伟;胡晨光;张聪 | 申请（专利权）人： | 明吉埃尔法智能工业科技（大连）有限公司 |
| 主分类号： | B01F33/502 | 分类号： | B01F33/502;B01F35/00;B01F35/221;B01F35/214;B01F35/21;B01F35/22;B01F35/40;B01F35/71;B01F35/75;B01F35/83;B01F35/92;B01F23/80 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 116600 辽宁省大连*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅晶圆研磨液供料系统，涉及硅晶圆加工设备技术领域，包括原料支撑台和主体支撑台，原料支撑台上放置有第一原料桶和第二原料桶，主体支撑台上安装有搅拌桶和中转桶，搅拌桶的上端有两个原料泵，原料泵分别与第一原料桶和第二原料桶连通，搅拌桶的下方通过管道连接有中转泵，中转泵的出口端通过管道与中转桶的上方连通，中转桶的下端通过管道连接有输出泵，输出泵的出口管道上设有换热器。本实用新型可保证供液的过程中温度保持在合理的范围内，可周期性清洗，可精确快速的提供混合好的研磨液，整体设计紧凑集成度高，方便移动，混合效率高，温度保持和供料都非常精确，非常适合在本行业推广使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅晶圆 研磨 供料 系统 | ||
【主权项】：
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