[实用新型]用于分析基板处的样本的系统有效
| 申请号： | 202220795150.6 | 申请日： | 2022-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN219142656U | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | S.普林斯;K.福恩西里;冯文毅 | 申请（专利权）人： | 亿明达股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/64 | 分类号： | G01N21/64 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 胡琪 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于分析基板处的样本的系统包括：光源，用于生成第一光；以及空间光调制器，用于从第一光形成第二光，其中，基板包括至少一个传感器，至少一个传感器用于检测基于第二光所发射的发射物，其中，在基板处，第二光形成基于至少一个传感器选择的形状，其中，第二光照射基板对应于该形状的区域。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 分析 基板处 样本 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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