[实用新型]一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置

摘要

本实用新型公开的属于冷却装置技术领域，具体为一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，包括冷却箱，所述冷却箱的上侧壁固定设置有对称的支撑板，两个所述支撑板的上侧壁共同横向固定设置有横板，所述横板的侧壁固定设置有液压杆，所述液压杆的下端固定设置有移动板，所述移动板的下端通过放置机构固定设置有研磨盘，所述冷却箱的内部固定设置有水泵，所述水泵的右端固定设置有进水管，所述冷却箱的右端固定设置有散热机构，将原始的通过浸泡对研磨盘进行冷却的方式换成直接通过喷头对其进行喷淋来快速散热降温，并将内部的冷却水调节成循环水，通过散热机构、导热板和导热杆对冷却水进行快速降温，长时间保持对研磨盘的散热效率。