[实用新型]一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置

权利要求书

1.一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，包括冷却箱(1)，其特征在于，所述冷却箱(1)的上侧壁固定设置有对称的支撑板(2)，两个所述支撑板(2)的上侧壁共同横向固定设置有横板(3)，所述横板(3)的侧壁固定设置有液压杆(4)，所述液压杆(4)的下端固定设置有移动板(5)，所述移动板(5)的下端通过放置机构固定设置有研磨盘(6)，所述冷却箱(1)的内部固定设置有水泵(7)，所述水泵(7)的右端固定设置有进水管(8)，所述冷却箱(1)的右端固定设置有散热机构，所述进水管(8)的上端固定设置有降温管(9)，所述降温管(9)的上端固定设置有出水管(10)，所述出水管(10)的另一端延伸至冷却箱(1)的后端，所述冷却箱(1)的后侧壁固定设置有均匀排布的喷头(11)，均匀排布的所述喷头(11)的后端均与所述出水管(10)的侧壁固定连接，所述降温管(9)的外部固定设置有导热板(12)，所述导热板(12)的右侧壁固定设置有均匀排布的导热杆(13)。

2.根据权利要求1所述的一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述放置机构包括两个连接杆(14)，两个所述连接杆(14)均与所述移动板(5)的下侧壁固定连接，两个所述连接杆(14)的下端共同固定设置有放置架(15)，所述放置架(15)的侧壁开设有放置口，所述研磨盘(6)竖直设置在放置口的内部，所述放置架(15)的上侧壁位于研磨盘(6)的两端固定设置有限位板(16)。

3.根据权利要求1所述的一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述冷却箱(1)内壁的下端固定设置有对称的支撑块(17)，两个所述支撑块(17)的上端通过螺栓横向固定设置有固定框(18)，所述固定框(18)的内部固定设置有过滤网(19)。

4.根据权利要求1所述的一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述散热机构包括机箱(20)，所述机箱(20)与所述冷却箱(1)的右侧壁固定连接，所述机箱(20)内部的左端固定设置有电机(21)，所述电机(21)的输出端固定设置有转杆(22)，所述转杆(22)的右端与所述机箱(20)的右侧壁转动连接，所述转杆(22)的杆壁套接设置有对称的第一皮带轮，所述机箱(20)的右侧壁转动设置有对称的传动杆(23)，两个所述传动杆(23)杆壁的左端均套接设置有第二皮带轮，两个所述第一皮带轮均通过皮带与两个所述第二皮带轮转动连接，两个所述传动杆(23)的右端均固定设置有散热风扇(24)。

5.根据权利要求1所述的一种芯片研磨机的研磨盘冷却装置，其特征在于：所述冷却箱(1)的下侧壁固定设置有对称的支撑底座。