[实用新型]一种具有冷却功能的螺旋波等离子体源稳态放电装置

摘要

本实用新型公开了一种具有冷却功能的螺旋波等离子体源稳态放电装置，包括由首端面板、首段腔体、中段腔体、尾段腔体、尾端面板依次密封连接形成的冷却腔体和螺旋波等离子体源。螺旋波等离子体源包括贯穿冷却腔体的放电室，嵌套于中、尾段腔体内部的环形永磁铁，位于冷却腔体内部且环绕、紧贴放电室外壁的天线和连通射频电源与天线且贯穿首端面板的电极棒。冷却液进、出口设置在冷却腔体的首端面板外表面，并与冷却腔体连通。本实用新型有效降低了螺旋波等离子体源在千瓦级功率运行时天线的温度，有效降低冷却腔体内部温度对环形永磁铁磁场的影响，实现了千瓦级螺旋波等离子体装置长时间稳态放电，并展示了永磁铁应用于大功率螺旋波等离子体源的可能性。