[实用新型]一种黄光制程显影设备有效
| 申请号： | 202220633905.2 | 申请日： | 2022-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN217305712U | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 肖啸;见强;周国鹏;张建权;郑志鹏;刘明淇;曾云飞 | 申请（专利权）人： | 湖北香城智能机电研究院有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 437035 湖北省咸宁市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及液晶面板制造技术领域，公开了一种黄光制程显影设备，包括多个相连的显影腔室，所述排气泵输出端均贯穿显影腔室的顶端内壁并固定连接有进气管，所述进气管与过度风室的连接处内径上均固定连接有第一挡风板，所述排气管与过度风室的连接处内径上均固定连接有第二挡风板，所述伸缩气缸驱动端均贯穿过度风室的顶端中部并固定连接在活塞的顶端中部。本实用新型中，通过伸缩气缸控制活塞上下运动，使得过度风室内的气流走向不停变换，并通过第一挡风板、第二挡风板、第三挡风板、第四挡风板和风门的相互配合，实现显影蒸汽的均匀排放，结构简单，设计巧妙，能够更好的满足使用者的使用需求，给使用者带来便利。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 黄光制程 显影 设备 | ||
【主权项】：
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