[实用新型]一种黄光制程显影设备

权利要求书

1.一种黄光制程显影设备，包括多个相连的显影腔室（1），其特征在于，所述显影腔室（1）顶端内壁的一侧均固定连接有排气泵（3），所述排气泵（3）输出端均贯穿显影腔室（1）的顶端内壁并固定连接有进气管（4），所述显影腔室（1）顶端均固定连接有过度风室（6），所述过度风室（6）左端下侧均固定连接有排气管（7），所述进气管（4）与过度风室（6）的连接处内径上均固定连接有第一挡风板（10），所述排气管（7）与过度风室（6）的连接处内径上均固定连接有第二挡风板（11），所述过度风室（6）顶端均固定连接有伸缩气缸（15），所述伸缩气缸（15）驱动端均贯穿过度风室（6）的顶端中部并固定连接在活塞（16）的顶端中部。

2.根据权利要求1所述的一种黄光制程显影设备，其特征在于，所述显影腔室（1）内顶部均固定连接有传输装置（2）。

3.根据权利要求1所述的一种黄光制程显影设备，其特征在于，所述进气管（4）的外径上均固定连接有调节阀（5）。

4.根据权利要求1所述的一种黄光制程显影设备，其特征在于，所述进气管（4）的末端均固定连接在过度风室（6）的右端上侧。

5.根据权利要求1所述的一种黄光制程显影设备，其特征在于，所述过度风室（6）的右端下侧均通过第一连通管（8）连接在进气管（4）的左端底部上，所述第一连通管（8）与过度风室（6）的连接处内径上均固定连接有第三挡风板（12）。

6.根据权利要求5所述的一种黄光制程显影设备，其特征在于，所述过度风室（6）的左端上侧均通过第二连通管（9）连接在排气管（7）的右端上侧，所述第二连通管（9）与过度风室（6）的连接处内径上均固定连接有第四挡风板（13）。

7.根据权利要求6所述的一种黄光制程显影设备，其特征在于，所述第一挡风板（10）、第二挡风板（11）、第三挡风板（12）和第四挡风板（13）的左端顶部均转动连接有风门（14）。