[实用新型]一种晶圆盒颗粒量测装置有效
| 申请号： | 202220617255.2 | 申请日： | 2022-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN217212158U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 吴铁山 | 申请（专利权）人： | 无锡金田电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N15/10 | 分类号： | G01N15/10;G01N1/38 |
| 代理公司： | 无锡佳信专利代理事务所(普通合伙) 32505 | 代理人： | 周慧杰 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆盒颗粒量测装置，包括支架；液体粒子计数器，用于对液体中的颗粒进行计数；晃动装置，用于对晶圆盒进行摇动；注水装置，用于向晶圆盒中注入液体；抽水装置，用于将晶圆盒中的水抽出；所述液体粒子计数器、晃动装置、注水装置、抽水装置均设置在支架内；抽水装置和液体粒子计数器连通。本实用新型具有省时省力，可自动进行晶圆盒颗粒量测，对晶圆盒摇晃充分，使得测试数据准确等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒 颗粒 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡金田电子有限公司，未经无锡金田电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220617255.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
