[实用新型]一种晶圆盒颗粒量测装置

权利要求书

1.一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于，包括：支架(1)；

液体粒子计数器(2)，用于对液体中的颗粒进行计数；

晃动装置(3)，用于对晶圆盒(7)进行摇动；

注水装置(4)，用于向晶圆盒(7)中注入液体；

抽水装置(5)，用于将晶圆盒(7)中的水抽出；

所述液体粒子计数器(2)、晃动装置(3)、注水装置(4)、抽水装置(5)均设置在所述支架(1)内；所述抽水装置(5)和所述液体粒子计数器(2)连通。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：所述晃动装置(3)包括设置在所述支架(1)内的固定座(301)；在所述固定座(301)上固定设置摇摆电机一(304)；在所述摇摆电机一(304)上固定设置晃动座(302)；在所述晃动座(302)上设置摇摆电机二(305)；在所述摇摆电机二(305)上设置放置座(303)，晶圆盒放置在放置座(303)上；在所述放置座(303)上设置多个固定臂(309)，将晶圆盒固定在放置座(303)上。

3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：还包括夹紧臂(307)和设置在所述放置座(303)上的夹紧气缸(306)；所述夹紧臂(307)上设置转动部(308)；所述转动部(308)和所述放置座(303)可转动连接；所述夹紧气缸(306)和所述夹紧臂(307)可转动连接，推动夹紧臂(307)沿着转动部(308)来回转动。

4.根据权利要求2所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：所述注水装置(4)包括进水管(9)、注水管(6)及设置在所述支架(1)上注水支架；所述注水支架上设置注水旋转气缸；所述注水旋转气缸上设置注水喷嘴；在所述注水管(6)上设置液体流量计(11)；所述注水管(6)一端和所述进水管(9)连通，另一端和所述注水喷嘴连通。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：在所述注水管(6)上还设置气动球阀(12)。

6.根据权利要求4所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：所述抽水装置(5)包括设置在所述支架(1)上的抽水支架；所述抽水支架上设置抽水管插入气缸；所述抽水管插入气缸上设置抽水管；所述抽水管和所述液体粒子计数器(2)连通。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：在所述支架(1)内设置放置架(8)，用来放置晶圆盒(7)；在所述放置架(8)上方的支架(1)内设置盒盖放置板，用于放置晶圆盒盒盖。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：还包括排水管(10)；在所述支架(1)底部设置接水盘(13)；所述排水管(10)和液体粒子计数器(2)、接水盘(13)连通。

9.根据权利要求8所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：还包括自动控制单元，用于控制气动球阀(12)、注水旋转气缸、抽水管插入气缸、液体粒子计数器(2)、摇摆电机一(304)、摇摆电机二(305)和夹紧气缸(306)的工作，读取液体流量计(11)的数值；所述自动控制单元分别和气动球阀(12)、液体流量计(11)、注水旋转气缸、抽水管插入气缸、液体粒子计数器(2)、摇摆电机一(304)、摇摆电机二(305)和夹紧气缸(306)电连接。

10.根据权利要求9所述的一种晶圆盒颗粒量测装置，其特征在于：所述自动控制单元设置有：预设水量单元，用于控制往晶圆盒中的注水量；预设静置时间单元，用于设定给晶圆盒注水后的静置时间；晃动时间单元，用于设置摇晃晶圆盒的时间。