[实用新型]一种晶圆盒颗粒量测装置

说明书

本实用新型涉及一种晶圆盒颗粒量测装置，包括支架；液体粒子计数器，用于对液体中的颗粒进行计数；晃动装置，用于对晶圆盒进行摇动；注水装置，用于向晶圆盒中注入液体；抽水装置，用于将晶圆盒中的水抽出；所述液体粒子计数器、晃动装置、注水装置、抽水装置均设置在支架内；抽水装置和液体粒子计数器连通。本实用新型具有省时省力，可自动进行晶圆盒颗粒量测，对晶圆盒摇晃充分，使得测试数据准确等优点。

技术领域：

本实用新型涉及芯片技术领域，特别涉及一种晶圆盒颗粒量测装置。

背景技术：

晶圆是用于制造半导体集成电路的关键材料，在半导体的制程中，必须是无尘的，任何颗粒物，就可能会造成生产的芯片发生缺陷，因此，晶圆在储存、运输时，必须将其放置在一个无尘的环境中，而晶圆一般放置在晶圆盒中，这就要求晶圆盒的颗粒含量必须达到标准要求，以符合晶圆储存环境的无尘。目前晶圆盒颗粒量测，是先在晶圆盒中注入特定体积(3升或5升)的液体，使晶圆盒的颗粒融入液体中，再抽取该液体，用液体粒子计数器来量测液体中的颗粒数量，即晶圆盒的颗粒数量，为使测量数据准确，液体注入到晶圆盒后，需人工摇晃晶圆盒，以使晶圆盒的颗粒充分融入到液体中，这种人工操作方式，效率低下，费时费力，而且还会因人力因素，摇晃不充分，造成测试数据不准。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在增加对本实用新型的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。

实用新型内容：

为解决上述现有技术问题，本实用新型提出一种晶圆盒颗粒量测装置，包括：支架；

液体粒子计数器，用于对液体中的颗粒进行计数；

晃动装置，用于对晶圆盒进行摇动；

注水装置，用于向晶圆盒中注入液体；

抽水装置，用于将晶圆盒中的水抽出；

所述液体粒子计数器、晃动装置、注水装置、抽水装置均设置在所述支架内；所述抽水装置和所述液体粒子计数器连通。

进一步地，所述晃动装置包括设置在所述支架内的固定座；在所述固定座上固定设置摇摆电机一；在所述摇摆电机一上固定设置晃动座；在所述晃动座上设置摇摆电机二；在所述摇摆电机二上设置放置座，晶圆盒放置在放置座上；在所述放置座上设置多个固定臂，将晶圆盒固定在放置座上。

进一步地，还包括夹紧臂和设置在所述放置座上的夹紧气缸；所述夹紧臂上设置转动部；所述转动部和所述放置座可转动连接；所述夹紧气缸和所述夹紧臂可转动连接，推动夹紧臂沿着转动部来回转动。

进一步地，所述注水装置包括进水管、注水管及设置在所述支架上注水支架；所述注水支架上设置注水旋转气缸；所述注水旋转气缸上设置注水喷嘴；在所述注水管上设置液体流量计；所述注水管一端和所述进水管连通，另一端和所述注水喷嘴连通。

进一步地，在所述注水管上还设置气动球阀。

进一步地，所述抽水装置包括设置在所述支架上的抽水支架；所述抽水支架上设置抽水管插入气缸；所述抽水管插入气缸上设置抽水管；所述抽水管和所述液体粒子计数器连通。

进一步地，在所述支架内设置放置架，用来放置晶圆盒；在所述放置架上方的支架内设置盒盖放置板，用于放置晶圆盒盒盖。

进一步地，还包括排水管；在所述支架底部设置接水盘；所述排水管和液体粒子计数器、接水盘连通。

进一步地，还包括自动控制单元，用于控制气动球阀、注水旋转气缸、抽水管插入气缸、液体粒子计数器、摇摆电机一、摇摆电机二和夹紧气缸的工作，读取液体流量计的数值；所述自动控制单元分别和气动球阀、液体流量计、注水旋转气缸、抽水管插入气缸、液体粒子计数器、摇摆电机一、摇摆电机二和夹紧气缸电连接。