[实用新型]一种单晶炉排气管道的清理装置有效
申请号: | 202220596538.3 | 申请日: | 2022-03-18 |
公开(公告)号: | CN217438344U | 公开(公告)日: | 2022-09-16 |
发明(设计)人: | 张国峰;刘瑞强;穆光裕 | 申请(专利权)人: | 辽宁博芯科半导体材料有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 沈阳友和欣知识产权代理事务所(普通合伙) 21254 | 代理人: | 郭悦 |
地址: | 121011 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉排气管道的清理装置,包括管体,管体的内腔固定装配有隔板,管体的中心处贯穿有伸缩轴,伸缩轴的左端一体成型有清理架,开口槽的中心处装配有辅助清理机构,开口槽内开设有贯穿清理架的通孔,伸缩轴的中心处装配有与辅助清理机构传动连接的驱动组件。在清理架向左运动时,辅助清理机构的辅助清理板保持水平,排气管道内的杂质可以通过通孔进入到清理架的右侧,然后在伸缩轴带动清理架进行复位时,通过驱动组件使辅助清理机构的辅助清理板保持垂直,保证杂质可以进入到第一内腔中进行后续的集中处理,通过在清理架侧壁所设置的清洁棉块可以进一步加强对排气管道内腔侧壁的清理。 | ||
搜索关键词: | 一种 单晶炉 排气 管道 清理 装置 | ||
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