[实用新型]一种单晶炉排气管道的清理装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉排气管道的清理装置，包括管体，管体的内腔固定装配有隔板，管体的中心处贯穿有伸缩轴，伸缩轴的左端一体成型有清理架，开口槽的中心处装配有辅助清理机构，开口槽内开设有贯穿清理架的通孔，伸缩轴的中心处装配有与辅助清理机构传动连接的驱动组件。在清理架向左运动时，辅助清理机构的辅助清理板保持水平，排气管道内的杂质可以通过通孔进入到清理架的右侧，然后在伸缩轴带动清理架进行复位时，通过驱动组件使辅助清理机构的辅助清理板保持垂直，保证杂质可以进入到第一内腔中进行后续的集中处理，通过在清理架侧壁所设置的清洁棉块可以进一步加强对排气管道内腔侧壁的清理。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉排气管技术领域，具体涉及一种单晶炉排气管道的清理装置。

背景技术

单晶炉是生产单晶硅的主要设备，在单晶炉对单晶硅进行生产的过程中需要使用到排气管道对生产过程中所产生的气体进行排放，从而保证单晶炉内部压力的稳定，但是在生产的过程中所产生的杂质(生产单晶硅的挥发物)会在排气管道内进行堆积，若是杂质堆积的过多很容易影响排气管道排气的通畅，从而对单晶炉生产单晶硅的产品质量造成影响。

为了保证排气管道的排气通畅，需要对排气管道内的杂质进行清理，现有的清理设备在使用的过程中多为将排气管道内的杂质单晶炉内进行推送，虽然疏通了排气管道，但是不能将杂质从排气管道内清除，随着杂质的后续增多还会对排气管道内造成堵塞。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种单晶炉排气管道的清理装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单晶炉排气管道的清理装置，包括管体，所述管体的左端一体成型有对接口，所述管体的内腔固定装配有隔板，所述管体的中心处贯穿有伸缩轴，所述伸缩轴的左端一体成型有清理架，所述伸缩轴的右端外侧壁套接有把手套，所述清理架的侧壁开设有开口槽，且开口槽的中心处装配有辅助清理机构，所述开口槽内开设有贯穿清理架的通孔，所述伸缩轴的中心处装配有与辅助清理机构传动连接的驱动组件。

优选的，所述隔板的侧壁开设有透气孔，所述管体的侧壁开设有透气槽，所述透气孔和透气槽内均固定安装有隔网。

优选的，所述清理架的外侧壁开设有卡槽，所述卡槽内卡接有清洁棉。

优选的，所述辅助清理机构包括安装块，所述安装块固定安装在清理架的侧壁，所述安装块的侧壁均匀开设有装配槽，所述装配槽内通过转动轴转动连接有辅助清理板。

优选的，所述驱动组件包括驱动轴，所述驱动轴贯穿伸缩轴的内腔，所述驱动轴的侧壁与伸缩轴的内腔之间装配有限位机构，所述驱动轴的左端固定安装有固定块，所述固定块的侧壁铰接有连接架的一端，且连接架的另一端与辅助清理板的侧壁相铰接，所述驱动轴的右端固定安装有把手块。

优选的，所述限位机构包括限位滑块和限位滑槽，所述限位滑块固定安装在驱动轴的侧壁，所述限位滑块滑动连接于限位滑槽内，所述限位滑槽开设在伸缩轴的内腔侧壁。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种单晶炉排气管道的清理装置，在使用的过程中通过对接口与单晶炉的排气管道相对接后，通过伸缩轴带动清理架进行运动，在清理架向左运动时，辅助清理机构的辅助清理板保持水平，排气管道内的杂质可以通过通孔进入到清理架的右侧，然后在伸缩轴带动清理架进行复位时，通过驱动组件使辅助清理机构的辅助清理板保持垂直，对通孔进行部分遮挡，保证杂质可以进入到第一内腔中进行后续的集中处理，通过在清理架侧壁所设置的清洁棉块可以进一步加强对排气管道内腔侧壁的清理，通过本实用新型，操作简单、方便，使生产单晶硅过程中单晶炉排气管道保持通畅，提高单晶硅的生产质量。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型伸缩轴向左侧移动的结构示意图。

图3为图2中的a处细节图。