[实用新型]一种单晶炉排气管道的清理装置有效

专利信息
申请号: 202220596538.3 申请日: 2022-03-18
公开(公告)号: CN217438344U 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 张国峰;刘瑞强;穆光裕 申请(专利权)人: 辽宁博芯科半导体材料有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 沈阳友和欣知识产权代理事务所(普通合伙) 21254 代理人: 郭悦
地址: 121011 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 单晶炉 排气 管道 清理 装置
【权利要求书】:

1.一种单晶炉排气管道的清理装置,包括管体(1),其特征在于:所述管体(1)的左端一体成型有对接口(2),所述管体(1)的内腔固定装配有隔板(3),所述管体(1)的中心处贯穿有伸缩轴(9),所述伸缩轴(9)的左端一体成型有清理架(10),所述伸缩轴(9)的右端外侧壁套接有把手套(11),所述清理架(10)的侧壁开设有开口槽(14),且开口槽(14)的中心处装配有辅助清理机构(15),所述开口槽(14)内开设有贯穿清理架(10)的通孔(18),所述伸缩轴(9)的中心处装配有与辅助清理机构(15)传动连接的驱动组件(16)。

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道的清理装置,其特征在于:所述隔板(3)的侧壁开设有透气孔(6),所述管体(1)的侧壁开设有透气槽(7),所述透气孔(6)和透气槽(7)内均固定安装有隔网(8)。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道的清理装置,其特征在于:所述清理架(10)的外侧壁开设有卡槽(12),所述卡槽(12)内卡接有清洁棉(13)。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道的清理装置,其特征在于:所述辅助清理机构(15)包括安装块(151),所述安装块(151)固定安装在清理架(10)的侧壁,所述安装块(151)的侧壁均匀开设有装配槽(152),所述装配槽(152)内通过转动轴转动连接有辅助清理板(153)。

5.根据权利要求1所述的一种单晶炉排气管道的清理装置,其特征在于:所述驱动组件(16)包括驱动轴(161),所述驱动轴(161)贯穿伸缩轴(9)的内腔,所述驱动轴(161)的侧壁与伸缩轴(9)的内腔之间装配有限位机构(17),所述驱动轴(161)的左端固定安装有固定块(163),所述固定块(163)的侧壁铰接有连接架(164)的一端,且连接架(164)的另一端与辅助清理板(153)的侧壁相铰接,所述驱动轴(161)的右端固定安装有把手块(162)。

6.根据权利要求5所述的一种单晶炉排气管道的清理装置,其特征在于:所述限位机构(17)包括限位滑块(171)和限位滑槽(172),所述限位滑块(171)固定安装在驱动轴(161)的侧壁,所述限位滑块(171)滑动连接于限位滑槽(172)内,所述限位滑槽(172)开设在伸缩轴(9)的内腔侧壁。

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