[实用新型]还原炉底盘冷却结构有效
申请号: | 202220594726.2 | 申请日: | 2022-03-18 |
公开(公告)号: | CN216946232U | 公开(公告)日: | 2022-07-12 |
发明(设计)人: | 莫可璋;谭忠芳;杨涛;丁建 | 申请(专利权)人: | 新疆大全新能源股份有限公司;内蒙古大全新能源有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 刘铁生;孟阿妮 |
地址: | 832000 新疆维吾尔自治区*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种还原炉底盘冷却结构,涉及多晶硅生产设备技术领域,主要目的是提供一种能够均匀排出尾气,并且保证还原炉内的温度场和速度场分布更加均匀,使得硅棒的不同位置的生长速率趋于平衡的还原炉底盘冷却结构。本实用新型的主要技术方案为:一种还原炉底盘冷却结构,包括:底盘,底盘具有冷却管道和多个排气孔;冷却部件,底盘套管包括进水管道、尾气管道和排水管道,进水管道套在尾气管道的外部,进水管道连接于冷却管道,冷却管道连接于排水管道,尾气管道的一端连接于多个排气孔,排气套管包括第一气管和第一水管,第一气管与尾气管道的另一端相互连通,第一水管套在第一气管的外部。本实用新型主要用于排出冷却还原炉尾气。 | ||
搜索关键词: | 还原 底盘 冷却 结构 | ||
【主权项】:
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