[实用新型]一种球形旋转等离子体源装置有效
| 申请号： | 202220577404.7 | 申请日： | 2022-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN217789954U | 公开（公告）日： | 2022-11-11 |
| 发明（设计）人： | 慈连鳌 | 申请（专利权）人： | 沈阳腾鳌真空技术有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;F16F15/02;F16F15/04 |
| 代理公司： | 辽宁中科品创专利代理事务所(普通合伙) 21261 | 代理人： | 肖月华 |
| 地址： | 110000 辽宁省*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种球形旋转等离子体源装置，属于等离子体发生装置技术领域；球形旋转等离子体源装置包括：台架、分子泵、抽气机、抽气管道、连通管道、球形腔体、探针组件、支撑架、磁场线圈、支撑座、支撑杆和减震垫；采用上述结构，通过将减震垫设置为弹性体，并使减震垫与球形腔体的底部相贴合，与实现通过减震垫吸收球形腔体的振动，从而实现对球形腔体减震的技术效果，进而避免因球形腔体发生振动而降低检测准确性的情况发生，以提升探针组件检测的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球形 旋转 等离子体 装置 | ||
【主权项】：
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