[实用新型]一种球形旋转等离子体源装置

说明书

本实用新型提供了一种球形旋转等离子体源装置，属于等离子体发生装置技术领域；球形旋转等离子体源装置包括：台架、分子泵、抽气机、抽气管道、连通管道、球形腔体、探针组件、支撑架、磁场线圈、支撑座、支撑杆和减震垫；采用上述结构，通过将减震垫设置为弹性体，并使减震垫与球形腔体的底部相贴合，与实现通过减震垫吸收球形腔体的振动，从而实现对球形腔体减震的技术效果，进而避免因球形腔体发生振动而降低检测准确性的情况发生，以提升探针组件检测的准确性。

技术领域

本实用新型属于等离子体发生装置技术领域，具体涉及一种球形旋转等离子体源装置。

背景技术

目前，在相关技术中,等离子体已广泛应用于各种领域，如在半导体集成电路制造方面，不同材料薄膜的生长及电路的蚀刻皆普遍由等离子体技术完成。在科学研究方面等离子体更已成为重要的工具，如纳米钛管的生长、微机电的研发等等。等离子体通过发生装置利用电流驱动反场效应来产生，同时，通过探针组件对等离子体密度进行检测。但在这个过程中，发生装置将会产生振动，从而影响探针组件的检测结果，因此设计一款能够降低发生装置发生振动的装置是十分必要的了。

实用新型内容

为了解决上述现有技术中存在的发生装置将会产生振动，从而影响探针组件的检测结果等问题，本实用新型提供一种球形旋转等离子体源装置，将减震垫设置为弹性体，并使减震垫与球形腔体的底部相贴合，与实现通过减震垫吸收球形腔体的振动，从而实现对球形腔体减震的技术效果，进而避免因球形腔体发生振动而降低检测准确性的情况发生，以提升探针组件检测准确性的效果。其具体技术方案为：

一种球形旋转等离子体源装置，球形旋转等离子体源装置包括：台架、分子泵、抽气机、抽气管道、连通管道、球形腔体、探针组件、支撑架、磁场线圈、支撑座、支撑杆和减震垫；分子泵固定在台架的底部；抽气机的输入端与分子泵的输出端相连通；两个抽气管道的一端同时与抽气机的输出端相连通，且抽气管道的另一端穿过台架的顶部；两个连通管道的一端分别与两个抽气管道的另一端相连通，且连通管道与抽气管道相垂直；球形腔体的前端设置有接口，球形腔体的两端分别与两个连通管道的另一端相连通；探针组件固定在球形腔体上，探针组件穿过接口，且探针组件嵌入球形腔体内；支撑架固定在台架上，且支撑架位于球形腔体的下方；两个磁场线圈固定在支撑架上，且两个磁场线圈分别绕设在两个连通管道的外侧；支撑座固定在支撑架上；支撑杆的一端与支撑座相连接；减震垫为弹性体，减震垫与支撑杆的另一端相连接，且减震垫与球形腔体的底部相贴合。

另外，本实用新型提供的上述技术方案中的球形旋转等离子体源装置还可以具有如下附加技术特征：

在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：固定架和固定卡箍；固定架呈L形，固定架与台架的底部相连接，且固定架的一边位于抽气管道的下方；固定卡箍固定在固定架上，且固定卡箍绕设在抽气管道的外侧。

在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：夹板、螺纹杆、第一固定螺母和第二固定螺母；夹板的一端设置有凹槽，两个夹板位于抽气管道的外侧，且抽气管道同时嵌入两个夹板的凹槽内；螺纹杆的外壁上设置有第一外螺纹，至少四个螺纹杆依次穿过台架和夹板；第一固定螺母内设置有第一内螺纹，两个第一固定螺母套设在螺纹杆的外侧，且两个第一固定螺母分别与台架的顶壁的两侧相贴合；第二固定螺母内设置有第一内螺纹，两个第二固定螺母套设在螺纹杆的外侧，且两个第二固定螺母分别与夹板的两侧相贴合；其中，第一外螺纹与第一内螺纹相适配。

在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：让位孔；让位孔设置在台架的顶部，且让位孔绕设在抽气管道的外侧。

在上述技术方案中，球形旋转等离子体源装置还包括：固定板和固定杆；固定板与台架的底部相连接；至少四个固定杆的一端与固定板相连接，且至少四个固定杆的另一端与分子泵相连接。