[实用新型]一种球形旋转等离子体源装置

权利要求书

1.一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置包括：

台架；

分子泵，所述分子泵固定在所述台架的底部；

抽气机，所述抽气机的输入端与所述分子泵的输出端相连通；

抽气管道，两个所述抽气管道的一端同时与所述抽气机的输出端相连通，且所述抽气管道的另一端穿过所述台架的顶部；

连通管道，两个所述连通管道的一端分别与两个所述抽气管道的另一端相连通，且所述连通管道与所述抽气管道相垂直；

球形腔体，所述球形腔体的前端设置有接口，所述球形腔体的两端分别与两个所述连通管道的另一端相连通；

探针组件，所述探针组件固定在所述球形腔体上，所述探针组件穿过所述接口，且所述探针组件嵌入所述球形腔体内；

支撑架，所述支撑架固定在所述台架上，且所述支撑架位于所述球形腔体的下方；

磁场线圈，两个所述磁场线圈固定在所述支撑架上，且两个所述磁场线圈分别绕设在两个所述连通管道的外侧；

支撑座，所述支撑座固定在所述支撑架上；

支撑杆，所述支撑杆的一端与所述支撑座相连接；

减震垫，所述减震垫为弹性体，所述减震垫与所述支撑杆的另一端相连接，且所述减震垫与所述球形腔体的底部相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：

固定架，所述固定架呈L形，所述固定架与所述台架的底部相连接，且所述固定架的一边位于所述抽气管道的下方；

固定卡箍，所述固定卡箍固定在所述固定架上，且所述固定卡箍绕设在所述抽气管道的外侧。

3.根据权利要求2所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：

夹板，所述夹板的一端设置有凹槽，两个所述夹板位于所述抽气管道的外侧，且所述抽气管道同时嵌入两个所述夹板的凹槽内；

螺纹杆，所述螺纹杆的外壁上设置有第一外螺纹，至少四个所述螺纹杆依次穿过所述台架和所述夹板；

第一固定螺母，所述第一固定螺母内设置有第一内螺纹，两个所述第一固定螺母套设在所述螺纹杆的外侧，且两个所述第一固定螺母分别与所述台架的顶壁的两侧相贴合；

第二固定螺母，所述第二固定螺母内设置有第一内螺纹，两个所述第二固定螺母套设在所述螺纹杆的外侧，且两个所述第二固定螺母分别与所述夹板的两侧相贴合；

其中，所述第一外螺纹与所述第一内螺纹相适配。

4.根据权利要求3所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：

让位孔，所述让位孔设置在所述台架的顶部，且所述让位孔绕设在所述抽气管道的外侧。

5.根据权利要求1所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：

固定板，所述固定板与所述台架的底部相连接；

固定杆，至少四个所述固定杆的一端与所述固定板相连接，且至少四个所述固定杆的另一端与所述分子泵相连接。

6.根据权利要求5所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于，所述球形旋转等离子体源装置还包括：

地脚座，所述地脚座的顶部设置有螺纹孔，所述螺纹孔内设置有第二内螺纹，四个所述地脚座位于所述台架的下方；

调节杆，所述调节杆的外壁设置有第二外螺纹，所述调节杆的一端与所述台架的底部相连接，且所述调节杆的另一端嵌入所述地脚座的螺纹孔内；

其中，所述第二内螺纹与所述第二外螺纹相适配。

7.根据权利要求6所述的一种球形旋转等离子体源装置，其特征在于：

所述球形腔体为石英体；

所述连通管道为石英体。