[实用新型]一种GaN基晶圆清洗装置有效
| 申请号： | 202220383942.2 | 申请日： | 2022-02-24 |
| 公开（公告）号： | CN216880703U | 公开（公告）日： | 2022-07-05 |
| 发明（设计）人： | 邵春林;闫怀宝 | 申请（专利权）人： | 江西誉鸿锦材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 成都佳划信知识产权代理有限公司 51266 | 代理人： | 任远高 |
| 地址： | 344000 江西省抚州市抚州高新技术产业开发区科纵四*** | 国省代码： | 江西;36 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种GaN基晶圆清洗装置，包括底板，所述底板上方转动安装有夹持座，所述夹持座与固定连接在底板上的电机驱动连接，所述夹持座上端面上设置有晶圆槽，所述晶圆槽中放置晶圆，所述晶圆槽中设置有一组定位柱，所述晶圆槽底部垫设有硅胶垫，所述晶圆槽底部设置有一组气孔，所述气孔通过管道与真空泵相连。本实用新型结构设置合理，夹持精度高、稳定性高，防护性好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 gan 基晶圆 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江西誉鸿锦材料科技有限公司，未经江西誉鸿锦材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202220383942.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种轮胎吊自动化定位系统
- 下一篇：一种新型袋装饲料码垛设备
