[实用新型]一种载板固定装置有效
| 申请号： | 202220367877.4 | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN216871922U | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 刘翠翠;代和松 | 申请（专利权）人： | 江西汉可泛半导体技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/683 |
| 代理公司： | 南昌贤达专利代理事务所(普通合伙) 36136 | 代理人： | 金一娴 |
| 地址： | 332020 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种载板固定装置，包括：两个上导轨，彼此间隔的设置在设备机架上；两个下导轨，彼此间隔的设置在设备机架上；固定装置，设置在设备机架上，所述固定装置用于对放置在两个上导轨和下导轨之间的载板进行软性限位固定。本实用新型充分利用电磁铁通电导磁产生吸合力、断电消磁的特点，对抓取电池片动作前的载板进行固定，定位效率高，配合抓手抓取硅片，以适应硅片生产产线节拍的要求，整体结构更简单、使用更方便、定位更精确和零部件损耗更小等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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