[实用新型]一种降低水汽透过率的阻隔膜有效

专利信息
申请号: 202220367088.0 申请日: 2022-02-23
公开(公告)号: CN217086617U 公开(公告)日: 2022-07-29
发明(设计)人: 徐从康;王坤;王江涌;冯煜锋 申请(专利权)人: 浙江弘康半导体技术股份有限公司
主分类号: H01L51/44 分类号: H01L51/44;H01L51/52
代理公司: 绍兴市寅越专利代理事务所(普通合伙) 33285 代理人: 龙俊宇
地址: 312000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种降低水汽透过率的阻隔膜,包括由下至上依次复合的有机柔性衬底层、无机氧化物层、单层的有机/无机杂化聚合物,其中单层的有机/无机杂化聚合物层通过旋涂的方式复合。本实用新型一种降低水汽透过率的阻隔膜,利用硅氧烷单体的水解和缩聚反应生成有机/无机杂化聚合物,并将此杂化材料涂敷于氧化物阻隔膜上,一方面可以填补无机层中的针孔和裂纹;另一方面通过与无机层表面的活性羟基反应生成更紧密的化学键从而产生协同作用,最终使WVTR以数量级地降低。
搜索关键词: 一种 降低 水汽 透过 阻隔
【主权项】:
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