[实用新型]一种降低水汽透过率的阻隔膜

权利要求书

1.一种降低水汽透过率的阻隔膜，其特征在于：包括由下至上依次复合的有机柔性衬底层、无机氧化物层、单层的有机/无机杂化聚合物，其中单层的有机/无机杂化聚合物层通过旋涂的方式复合；有机柔性衬底层与无机氧化物层复合的方式为：利用电子束蒸发、磁控溅射在有机柔性衬底层上沉积10至1000nm无机氧化物层以初步形成阻隔膜。

2.根据权利要求1所述的一种降低水汽透过率的阻隔膜，其特征在于：所述有机柔性衬底的膜层厚度在10至125um，采用透光性高的PET、PEN、BOPP、OPP、PE、PI膜、PC中任意一种柔性薄膜。

3.根据权利要求1所述的一种降低水汽透过率的阻隔膜，其特征在于：所述无机氧化物层厚度在10至1000nm范围内，采用致密的Al₂O₃-ZnO（AZO）、In₂O₃-ZnO（IZO）、In₂O₃-SnO₂（ITO）、Al₂O₃薄膜、SiO₂薄膜、AlN薄膜、Si₃N₄薄膜或者Nb₂O₅一种或多种构成。