[实用新型]一种超薄薄膜真空双面溅射装置

摘要

一种超薄薄膜真空双面溅射装置，包括机体，所述机体的内腔右侧上下两部分别安装有放卷机和收卷机，所述机体的内腔中心处上下两部均安装有一组水冷却辊，每组每两个所述水冷却辊之间均设有张力控制单元，且最右侧水冷却辊与放卷机和收卷机之间设有张力控制单元，且张力控制单元安装于机体上，每个所述水冷却辊顶部两端均设有第一过渡辊。该超薄薄膜真空双面溅射装置，通过压力控制单元的压力控制器对薄膜的张力进行感应与控制，在张力辊的作用下，进行对不同类型的薄膜进行张力控制，保证薄膜行走时的紧致程度，达到了在保证薄膜张力紧致的情况下，薄膜不会受损，镀膜过程也能平稳运行的效果，就算面对超薄的薄膜也可以进行镀膜。