[实用新型]一种超薄薄膜真空双面溅射装置

权利要求书

1.一种超薄薄膜真空双面溅射装置，包括机体（1），其特征在于：所述机体（1）的内腔右侧上下两部分别安装有放卷机（2）和收卷机（3），所述机体（1）的内腔中心处上下两部均安装有一组水冷却辊（6），且每组水冷却辊（6）的数量为三个，每组每两个所述水冷却辊（6）之间均设有张力控制单元，且最右侧水冷却辊（6）与放卷机（2）和收卷机（3）之间设有张力控制单元，且张力控制单元安装于机体（1）上，每个所述水冷却辊（6）顶部两端均设有第一过渡辊（7），所述张力控制单元与放卷机（2）和收卷机（3）之间设有第三过渡辊（20），所述第一过渡辊（7）和第三过渡辊（20）均安装于机体（1）上，且机体（1）的内部左侧中心处安装有第二过渡辊（12），所述机体（1）的上侧壁左侧安装有真空单元，所述机体（1）的左侧壁固接有进气管（11），每个所述水冷却辊（6）的底部均设有一组溅射阴极（5）。

2.根据权利要求1所述的一种超薄薄膜真空双面溅射装置，其特征在于：所述张力控制单元包括压力控制器（4）和滑轨（16），且压力控制器（4）和滑轨（16）均有两个，分别固接于机体（1）的前后两侧壁，所述压力控制器（4）上固接有电机座（14），所述电机座（14）上安装有直线电机（13），所述直线电机（13）的输出端固接有轴承座（17），所述轴承座（17）的内部固接有轴承（19），两个所述轴承（19）之间安装有张力辊（15），所述轴承座（17）靠近滑轨（16）的一侧固接有滑块（18），所述滑块（18）与滑轨（16）滑动卡接。

3.根据权利要求1所述的一种超薄薄膜真空双面溅射装置，其特征在于：所述真空单元包括真空泵（8），所述真空泵（8）固接于机体（1）上，所述真空泵（8）的吸气端与机体（1）相连通，所述真空泵（8）的出气端固接有电磁阀（10）的一个端面，所述电磁阀（10）的另一个端面固接有导气管（9）。

4.根据权利要求1所述的一种超薄薄膜真空双面溅射装置，其特征在于：每组所述溅射阴极（5）有三个，且三个溅射阴极（5）形成半圆状将水冷却辊（6）的底部进行包围。