[实用新型]一种超薄薄膜真空双面溅射装置

说明书

一种超薄薄膜真空双面溅射装置，包括机体，所述机体的内腔右侧上下两部分别安装有放卷机和收卷机，所述机体的内腔中心处上下两部均安装有一组水冷却辊，每组每两个所述水冷却辊之间均设有张力控制单元，且最右侧水冷却辊与放卷机和收卷机之间设有张力控制单元，且张力控制单元安装于机体上，每个所述水冷却辊顶部两端均设有第一过渡辊。该超薄薄膜真空双面溅射装置，通过压力控制单元的压力控制器对薄膜的张力进行感应与控制，在张力辊的作用下，进行对不同类型的薄膜进行张力控制，保证薄膜行走时的紧致程度，达到了在保证薄膜张力紧致的情况下，薄膜不会受损，镀膜过程也能平稳运行的效果，就算面对超薄的薄膜也可以进行镀膜。

技术领域

本实用新型涉及薄膜加工技术领域，具体领域为一种超薄薄膜真空双面溅射装置。

背景技术

薄膜是一种薄而软的透明薄片。用塑料、胶粘剂、橡胶或其他材料制成。薄膜科学上的解释为：由原子，分子或离子沉积在基片表面形成的二维材料。例：光学薄膜、复合薄膜、超导薄膜、聚酯薄膜、尼龙薄膜、塑料薄膜等等。薄膜被广泛用于电子电器，机械，印刷等行业，薄膜材料是指厚度介于单原子到几毫米间的薄金属或有机物层。电子半导体功能器件和光学镀膜是薄膜技术的主要应用。在现在的薄膜加工过程中，需要对薄膜进行阴极溅射，以此使膜的密度高，厚度均匀，无气孔，与基底结合牢固，但是目前的设备使用的溅射阴极比较少，溅射的效率较低，若增加溅射阴极，薄膜的张力和同步性无法解决，且一次也只能溅射薄膜的一面，镀膜效率不高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超薄薄膜真空双面溅射装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超薄薄膜真空双面溅射装置，包括机体，所述机体的内腔右侧上下两部分别安装有放卷机和收卷机，所述机体的内腔中心处上下两部均安装有一组水冷却辊，且每组水冷却辊的数量为三个，每组每两个所述水冷却辊之间均设有张力控制单元，且最右侧水冷却辊与放卷机和收卷机之间设有张力控制单元，且张力控制单元安装于机体上，每个所述水冷却辊顶部两端均设有第一过渡辊，所述张力控制单元与放卷机和收卷机之间设有第三过渡辊，所述第一过渡辊和第三过渡辊均安装于机体上，且机体的内部左侧中心处安装有第二过渡辊，所述机体的上侧壁左侧安装有真空单元，所述机体的左侧壁固接有进气管，每个所述水冷却辊的底部均设有一组溅射阴极。

优选的，所述张力控制单元包括压力控制器和滑轨，且压力控制器和滑轨均有两个，分别固接于机体的前后两侧壁，所述压力控制器上固接有电机座，所述电机座上安装有直线电机，所述直线电机的输出端固接有轴承座，所述轴承座的内部固接有轴承，两个所述轴承之间安装有张力辊，所述轴承座靠近滑轨的一侧固接有滑块，所述滑块与滑轨滑动卡接。

优选的，所述真空单元包括真空泵，所述真空泵固接于机体上，所述真空泵的吸气端与机体相连通，所述真空泵的出气端固接有电磁阀的一个端面，所述电磁阀的另一个端面固接有导气管。

优选的，每组所述溅射阴极有三个，且三个溅射阴极形成半圆状将水冷却辊的底部进行包围。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：一种超薄薄膜真空双面溅射装置，通过压力控制单元的压力控制器对薄膜的张力进行感应与控制，在张力辊的作用下，进行对不同类型的薄膜进行张力控制，超薄的薄膜不会被破坏，也有最大程度的张力，保证薄膜行走时的紧致程度，在多个溅射阴极的溅射下增加薄膜的密度，使厚度均匀，在第二过渡辊介入和上下分布的水冷却辊下，可以对薄膜的两面均可以进行阴极溅射。

本实用新型提供一种超薄薄膜真空双面溅射装置，达到了在保证薄膜张力紧致的情况下，薄膜不会受损，镀膜过程也能平稳运行的效果，就算面对超薄的薄膜也可以进行镀膜，也具有可以一次对薄膜的两面进行溅射镀膜的好处，大大地提高了镀膜效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为图1的A处结构放大示意图；