[实用新型]一种带真空检测功能的蓝膜吸附装置

摘要

本实用新型公开了半导体COF封装领域内的一种带真空检测功能的蓝膜吸附装置，包括晶圆，与晶圆外周相对应设置有环形铁框，铁框下侧设置有一层蓝膜，所述晶圆粘接固定在蓝膜上表面，固定支撑环贴靠着蓝膜外周边，所述铁框上方对应设置有两个可升降的弧形压紧板，两个压紧板左右对称分布，两个压紧板分别与两组下压驱动机构相传动连接，所述蓝膜下方对应设置有竖直的真空吸附筒，真空吸附筒上端设置有若干吸附槽，真空吸附筒下端与真空管路相连接，所述真空管路上设置有三通接头，三通接头的侧面连接有气压检测头，气压检测头另一端与气压显示表相连接。本实用新型确保对相应IC精准定位吸附抓取，及时发现真空存在异常的情况进行排除。