[实用新型]一种解决溅射台夹具缺角碎片问题的结构有效
| 申请号： | 202220341132.0 | 申请日： | 2022-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN217104059U | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 魏洪松;姜云峰;郑景辉 | 申请（专利权）人： | 厦门吉顺芯微电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 陈方淮;蔡学俊 |
| 地址： | 361021 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种解决溅射台夹具缺角碎片问题的结构，包括具有中心通孔的环形定位板和设在中心通孔周缘的至少一个缺口，所述缺口位置安装有具有凹腔的保护垫块，缺口位置还安装有位于保护垫块的凹腔上部的片夹弹片，所述片夹弹片的底面与凹腔底面之间具有活动空隙，片夹弹片的两侧边与凹腔侧壁之间均具有小于0.2mm的间隙。该结构可有效避免颗粒进入到片夹的凹腔中影响片夹的正常使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解决 溅射 夹具 碎片 问题 结构 | ||
【主权项】：
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