[实用新型]一种解决溅射台夹具缺角碎片问题的结构

说明书

本实用新型涉及一种解决溅射台夹具缺角碎片问题的结构，包括具有中心通孔的环形定位板和设在中心通孔周缘的至少一个缺口，所述缺口位置安装有具有凹腔的保护垫块，缺口位置还安装有位于保护垫块的凹腔上部的片夹弹片，所述片夹弹片的底面与凹腔底面之间具有活动空隙，片夹弹片的两侧边与凹腔侧壁之间均具有小于0.2mm的间隙。该结构可有效避免颗粒进入到片夹的凹腔中影响片夹的正常使用。

技术领域

本实用新型涉及一种解决溅射台夹具缺角碎片问题的结构。

背景技术

芯片（包括大、小平边的硅片）通过溅射台实现芯片溅射金属薄膜的过程。溅射台装载芯片的部位为片夹（见图1），由于片夹的前片爪两侧存在较大缝隙，作业过程中不可避免会有一些硅渣或者其他硬质颗粒掉落，如掉落至缝隙处，则会从缝隙处掉至弹片底部。如果弹片底下有硬质颗粒阻挡，则片夹弹片运行困难，无法正常向下活动，从而导致作业过程压伤芯片的问题，且连锁引发缺角异常。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种解决溅射台夹具缺角碎片问题的结构，该结构可有效避免颗粒进入到片夹的凹腔中影响片夹的正常使用。

本实用新型的技术方案在于：一种解决溅射台夹具缺角碎片问题的结构，包括具有中心通孔的环形定位板和设在中心通孔周缘的至少一个缺口，所述缺口位置安装有具有凹腔的保护垫块，缺口位置还安装有位于保护垫块的凹腔上部的片夹弹片，所述片夹弹片的底面与凹腔底面之间具有活动空隙，片夹弹片的两侧边与凹腔侧壁之间均具有小于0.2mm的间隙。

进一步地，所述保护垫块的两侧部分别具有连接部，所述连接部与环形定位板的下侧面相连接。

进一步地，所述中心通孔周缘设有局部或整圈的内凸缘，所述保护垫块的前端向内突出内凸缘，且上端面与内凸缘上表面相平齐。

进一步地，所述片夹弹片的后端经弯折部与一固定片连成一体，所述缺口的两侧均设置有用于固定片两端限位并连接的沉槽。

进一步地，所述片夹弹片的前端具有向上弯折形成爪部的卷曲部，所述卷曲部的高于保护垫块的上端面。

与现有技术相比较，本实用新型具有以下优点：该结构可有效避免颗粒进入到片夹的凹腔中影响片夹的正常使用，有效解决解决溅射台片夹压伤芯片的问题，且不会影响产品良率。且结构简单、有效、低成本，涉及溅射台片夹压伤芯片问题，均可按此方法进行改造，从而避免机台压伤芯片导致缺角。

附图说明

图1为现有片夹弹片与保护垫块的配合示意图；

图2为本实用新型的结构示意图；

图3为本实用新型的片夹弹片与保护垫块配合的局部放大图；

图4为本实用新型的片夹弹片与保护垫块配合剖视图；

图5为本实用新型的片夹弹片的结构示意图；

图中：10-环形定位板 11-中心通孔 12-缺口 13-内凸缘 14-沉槽 20-保护垫块21-凹腔 22-活动空隙 23-间隙 24-连接部 30-片夹弹片 31-弯折部 32-固定片 33-卷曲部 34-螺钉。

具体实施方式

为让本实用新型的上述特征和优点能更浅显易懂，下文特举实施例，并配合附图，作详细说明如下，但本实用新型并不限于此。

参考图2至图5