[实用新型]一种用于制备单晶氧化镓的工艺设备有效
| 申请号： | 202220338653.0 | 申请日： | 2022-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN217203059U | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 苏州燎塬半导体有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/16 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 薛异荣 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市张家港市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于制备单晶氧化镓的工艺设备，包括：腔管；位于所述腔管中的坩埚，所述坩埚内具有底部容置区和顶部开口区，所述底部容置区和所述顶部开口区间隔，所述顶部开口区适于放置籽晶；加热件，所述加热件设置在所述腔管的侧部周围，所述加热件适于对所述坩埚进行加热，以使得所述顶部开口区的温度小于所述底部容置区的温度；进气管和出气管，所述进气管与所述腔管靠近所述底部容置区的一端连通，所述出气管与所述腔管靠近所述顶部开口区的一端连通。本实用新型的用于制备单晶氧化镓的工艺设备，在腔管内形成流动的保护气氛，控制腔管内的氧浓度，加快单晶的生长速度，节省了能源，进而降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 制备 氧化 工艺设备 | ||
【主权项】：
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