[实用新型]一种蒸镀半刻蚀掩模板有效
申请号: | 202220334118.8 | 申请日: | 2022-02-18 |
公开(公告)号: | CN216786244U | 公开(公告)日: | 2022-06-21 |
发明(设计)人: | 张义波;魏晓婷;李光 | 申请(专利权)人: | 安徽熙泰智能科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56 |
代理公司: | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 | 代理人: | 张永生 |
地址: | 241000 安徽省芜湖市芜湖长江*** | 国省代码: | 安徽;34 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种蒸镀半刻蚀掩模板,包括掩模板本体,所述掩模板本体上设有开口区,掩模板本体上靠开口区边缘设有半刻蚀凹槽,所述掩模板本体的半刻蚀凹槽上设有用于阻挡蒸发材料外扩的阻挡结构。该蒸镀半刻蚀掩模板结构设计合理,半刻蚀凹槽区上设计凸起的阻挡结构,阻挡蒸发材料在半刻区外扩,从而减小半刻蚀区的蒸镀阴影,确保OLED屏体边框设计尺寸不会因为半刻蚀蒸镀的使用而增加。 | ||
搜索关键词: | 一种 蒸镀半 刻蚀 模板 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于安徽熙泰智能科技有限公司,未经安徽熙泰智能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202220334118.8/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种环己甲酰氯合成釜
- 下一篇:一种等离子除味猫砂盆
- 同类专利
- 专利分类