[实用新型]三氟化氮用预加热纯化装置有效
申请号: | 202220236270.2 | 申请日: | 2022-01-28 |
公开(公告)号: | CN216678194U | 公开(公告)日: | 2022-06-07 |
发明(设计)人: | 王杰;刘丙德;苗彦军;栾海宁;牛燕;潘波;马雷 | 申请(专利权)人: | 乌兰察布南大微电子材料有限公司 |
主分类号: | B01J19/00 | 分类号: | B01J19/00;B01J4/00;C01B21/083 |
代理公司: | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人: | 宫兆俭 |
地址: | 012000 内蒙古自治区乌兰*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种三氟化氮用预加热纯化装置,属于气体热解分离技术领域。其包括紧凑设置的预热罐、加热器和纯化保温器,其中:预热罐位于左侧,三氟化氮通过位于预热罐顶部的进气口进入,并通过预热罐预热后通过底部连接至加热器;加热器位于中部,包括导热油管路以及加热丝,三氟化氮经过加热丝加热后进入控制总阀,导热油管路循环设置在加热器内;控制总阀一端连接加热器,另一端连接纯化保温器;纯化保温器位于右侧,三氟化氮通过纯化保温器的顶部进入,并通过纯化保温器的底部出口排出。通过优化整体布局,整体结构紧凑,体积相对于现有预加热装置要小很多,同时预加热效果几乎相同,采用的成本反而更低;可广泛运用于气体热解分离场合。 | ||
搜索关键词: | 氟化 氮用预 加热 纯化 装置 | ||
【主权项】:
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