[实用新型]三氟化氮用预加热纯化装置有效

专利信息
申请号: 202220236270.2 申请日: 2022-01-28
公开(公告)号: CN216678194U 公开(公告)日: 2022-06-07
发明(设计)人: 王杰;刘丙德;苗彦军;栾海宁;牛燕;潘波;马雷 申请(专利权)人: 乌兰察布南大微电子材料有限公司
主分类号: B01J19/00 分类号: B01J19/00;B01J4/00;C01B21/083
代理公司: 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 代理人: 宫兆俭
地址: 012000 内蒙古自治区乌兰*** 国省代码: 内蒙古;15
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摘要:
搜索关键词: 氟化 氮用预 加热 纯化 装置
【说明书】:

实用新型涉及一种三氟化氮用预加热纯化装置,属于气体热解分离技术领域。其包括紧凑设置的预热罐、加热器和纯化保温器,其中:预热罐位于左侧,三氟化氮通过位于预热罐顶部的进气口进入,并通过预热罐预热后通过底部连接至加热器;加热器位于中部,包括导热油管路以及加热丝,三氟化氮经过加热丝加热后进入控制总阀,导热油管路循环设置在加热器内;控制总阀一端连接加热器,另一端连接纯化保温器;纯化保温器位于右侧,三氟化氮通过纯化保温器的顶部进入,并通过纯化保温器的底部出口排出。通过优化整体布局,整体结构紧凑,体积相对于现有预加热装置要小很多,同时预加热效果几乎相同,采用的成本反而更低;可广泛运用于气体热解分离场合。

技术领域

本实用新型涉及一种三氟化氮用预加热纯化装置,属于气体热解分离技术领域。

背景技术

目前工业上生产三氟化氮主要采用电解的方式,然而电解生成的三氟化氮中存在多氟化氮,多氟化氮积聚会产生爆炸,使三氟化氮的纯化过程存在较高风险。因此,在三氟化氮纯化之前需对其进行预处理,将其中的多氟化氮进行分解排除。本实用新型的三氟化氮用预加热纯化装置相较于现有的预加热纯化装置体积小、成本低,未来有望代替现有的三氟化氮用预加热纯化装置。

实用新型内容

针对现有技术存在的上述缺陷,本实用新型提出了一种三氟化氮用预加热纯化装置。

本实用新型所述的三氟化氮用预加热纯化装置,包括紧凑设置的预热罐、加热器和纯化保温器,其中:

预热罐位于左侧,三氟化氮通过位于预热罐顶部的进气口进入,并通过预热罐预热后通过底部连接至加热器;

加热器位于中部,包括导热油管路以及加热丝,三氟化氮经过加热丝加热后进入控制总阀,导热油管路循环设置在加热器内;控制总阀一端连接加热器,另一端连接纯化保温器;

纯化保温器位于右侧,呈立式长方体设置,三氟化氮通过纯化保温器的顶部进入,并通过纯化保温器的底部出气口排出。

优选地,所述纯化保温器边侧设置有安装板,安装板上固着有加热器。

优选地,所述控制总阀还设置有排出杂质气体二氟化氮的排气口,排气口位于立式的控制总阀底部。

优选地,所述控制总阀上安装有压力传感器。

本实用新型的有益效果是:本实用新型所述的三氟化氮用预加热纯化装置,通过优化整体布局,根据自左向右的方向依次排布有预热罐、加热器和纯化保温器,整体结构紧凑,体积相对于现有预加热装置要小很多,同时预加热效果几乎相同,采用的成本反而更低。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图中:1、进气口;2、预热罐;3、加热器;4、控制总阀;5、纯化保温器;6、出气口;7、排气口。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。

实施例:

如图1所示,本实用新型所述的三氟化氮用预加热纯化装置,包括紧凑设置的预热罐2、加热器3和纯化保温器5,其中:

预热罐2位于左侧,三氟化氮通过位于预热罐2顶部的进气口进入,并通过预热罐2预热后通过底部连接至加热器3;

加热器3位于中部,包括导热油管路以及加热丝,三氟化氮经过加热丝加热后进入控制总阀4,导热油管路循环设置在加热器3内;控制总阀4一端连接加热器3,另一端连接纯化保温器5;

纯化保温器5位于右侧,呈立式长方体设置,三氟化氮通过纯化保温器5的顶部进入,并通过纯化保温器5的底部出气口6排出。

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