[实用新型]三氟化氮用预加热纯化装置有效
| 申请号： | 202220236270.2 | 申请日： | 2022-01-28 |
| 公开（公告）号： | CN216678194U | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 王杰;刘丙德;苗彦军;栾海宁;牛燕;潘波;马雷 | 申请（专利权）人： | 乌兰察布南大微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01J19/00 | 分类号： | B01J19/00;B01J4/00;C01B21/083 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 宫兆俭 |
| 地址： | 012000 内蒙古自治区乌兰*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氟化 氮用预 加热 纯化 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种三氟化氮用预加热纯化装置，其特征在于，包括紧凑设置的预热罐(2)、加热器(3)和纯化保温器(5)，其中：
预热罐(2)位于左侧，三氟化氮通过位于预热罐(2)顶部的进气口进入，并通过预热罐(2)预热后通过底部连接至加热器(3)；
加热器(3)位于中部，包括导热油管路以及加热丝，三氟化氮经过加热丝加热后进入控制总阀(4)，导热油管路循环设置在加热器(3)内；控制总阀(4)一端连接加热器(3)，另一端连接纯化保温器(5)；
纯化保温器(5)位于右侧，呈立式长方体设置，三氟化氮通过纯化保温器(5)的顶部进入，并通过纯化保温器(5)的底部出气口(6)排出。
2.根据权利要求1所述的三氟化氮用预加热纯化装置，其特征在于，所述纯化保温器(5)边侧设置有安装板，安装板上固着有加热器(3)。
3.根据权利要求1所述的三氟化氮用预加热纯化装置，其特征在于，所述控制总阀(4)还设置有排出杂质气体二氟化氮的排气口(7)，排气口(7)位于立式的控制总阀(4)底部。
4.根据权利要求1所述的三氟化氮用预加热纯化装置，其特征在于，所述控制总阀(4)上安装有压力传感器。
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