[实用新型]一种真空镀膜设备有效
| 申请号： | 202220227479.2 | 申请日： | 2022-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN218860866U | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 闫海涛 | 申请（专利权）人： | 布勒莱宝光学设备（北京）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/34;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京知汇林知识产权代理事务所(普通合伙) 11794 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 100176 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种真空镀膜设备，搬运室内设置有换料机构、中转机构和上下料机构，换料机构的第一换料工位位于所述换料口处并与所述镀膜架换料工位对接，中转机构的第一中转工位与换料机构的第二换料工位对接，中转机构的第二中转工位与所述上下料机构对接，以适于所述第一中转工位与所述第二换料工位之间交换工件动作、在所述第二中转工位与所述上下料机构之间交换工件动作同步完成，降低了换料耗时，提高了镀膜工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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