[实用新型]一种用于碟片激光器的洁净干燥气体发生装置

摘要

本实用新型公开了一种用于碟片激光器的洁净干燥气体发生装置，包括依次连通的前端过滤器、空气压缩机、储气罐、气体油雾过滤器、防结霜管、颗粒过滤器、膜式气体干燥器和出口调节阀，前端过滤器在空气压缩机作用下吸入外部空气，其用于初步过滤外部空气，储气罐用于存储初步过滤的外部空气，气体油雾过滤器用于去除气体中的油雾，防结霜管用于干燥气体，颗粒过滤器用于过滤气体中的颗粒，膜式气体干燥器用于降低气体湿度，出口调节阀调节出口端气体的流量和压力，出口调节阀输出的气体通入碟片激光器所处的腔体环境中。本实用新型提供的洁净干燥气体发生装置能够精确制造所需压力和流量的洁净干燥空气，保证碟片激光器始终处于洁净干燥空气中。