[实用新型]一种用于碟片激光器的洁净干燥气体发生装置

说明书

本实用新型公开了一种用于碟片激光器的洁净干燥气体发生装置，包括依次连通的前端过滤器、空气压缩机、储气罐、气体油雾过滤器、防结霜管、颗粒过滤器、膜式气体干燥器和出口调节阀，前端过滤器在空气压缩机作用下吸入外部空气，其用于初步过滤外部空气，储气罐用于存储初步过滤的外部空气，气体油雾过滤器用于去除气体中的油雾，防结霜管用于干燥气体，颗粒过滤器用于过滤气体中的颗粒，膜式气体干燥器用于降低气体湿度，出口调节阀调节出口端气体的流量和压力，出口调节阀输出的气体通入碟片激光器所处的腔体环境中。本实用新型提供的洁净干燥气体发生装置能够精确制造所需压力和流量的洁净干燥空气，保证碟片激光器始终处于洁净干燥空气中。

技术领域

本实用新型涉及洁净干燥气体发生装置技术领域，特别涉及一种用于碟片激光器的洁净干燥气体发生装置。

背景技术

激光器在高功率运行状态下，需要无尘、干燥的腔体环境，一旦发生内部空气污染，对于激光器的损坏是致命的，会导致腔体内部个别乃至全部光学镜片失效、损毁。目前，一般仅采用密闭激光器腔体的方式隔绝外界污染环境。但这种方法存在着两个问题：

(1)密封的时效性：随着密封器件的老化，会导致腔体密封性受到影响，一旦密封性能受损，随着腔体与外界的温差而产生的压力差，会导致激光器腔体内部被外界空气污染。

(2)维护的难度：由于激光器内部的密封结构，不能打开腔体直接进行维护，因此只能将腔体放入洁净空气环境中去进行售后维护，这增加了维护的时间和成本。

因此，激光器需要对一种新的保护装置以保证周围环境的洁净，而目前气体发生器的洁净程度不高，容易残留粉尘和水蒸气，无法精确制造所需压力和流量的洁净干燥气体，并且智能化调控程度低，无法进行自主监控。

实用新型内容

为了解决现有技术的问题，本实用新型提供了一种用于碟片激光器的洁净干燥气体发生装置，所述技术方案如下：

提供了一种用于碟片激光器的洁净干燥气体发生装置，所述洁净干燥气体发生装置用于使得碟片激光器处于洁净干燥气体环境中，所述洁净干燥气体发生装置包括依次连通的前端过滤器、空气压缩机、储气罐、气体油雾过滤器、防结霜管、颗粒过滤器、膜式气体干燥器和出口调节阀，所述前端过滤器在所述空气压缩机作用下吸入外部空气，其用于初步过滤外部空气，所述储气罐用于存储初步过滤的外部空气，所述气体油雾过滤器用于去除气体中的油雾，所述防结霜管用于干燥气体，所述颗粒过滤器用于过滤气体中的颗粒，所述膜式气体干燥器用于降低气体湿度，所述出口调节阀用于调节出口端气体的流量和压力，所述出口调节阀输出的气体通入所述碟片激光器所处的腔体环境中。

进一步地，所述出口调节阀包括压力调节阀和流量调节阀，所述压力调节阀用于调节气体的出口压力，所述流量调节阀用于调节气体的出口流量。

进一步地，所述洁净干燥气体发生装置还包括控制器，所述出口调节阀为电控阀门，所述控制器与所述出口调节阀和所述空气压缩机电连接，所述空气压缩机预设有与所述出口调节阀的阀门开度对应的输出功率，所述控制器用于根据所述出口调节阀的阀门开度将所述空气压缩机调至预设输出功率。

进一步地，所述洁净干燥气体发生装置还包括流量压力表，所述流量压力表设置在所述出口调节阀处，其用于检测所述出口调节阀处的气体压力和流量。

进一步地，所述洁净干燥气体发生装置还包括警报器，所述流量压力表为电子流量压力表，所述控制器与所述警报器和电子流量压力表电连接；所述电子流量压力表检测的数值与所述出口调节阀的调控数值差值超出预设范围时，所述控制器控制所述警报器发出警报。

进一步地，所述颗粒过滤器包括活性炭过滤器和/或微颗粒过滤器，所述活性炭过滤器用于去除碳氢化合物，所述微颗粒过滤器用于过滤99％-99.99％的粒子，使得过滤后的粒子浓度符合百级洁净度标准。