[实用新型]一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统有效
| 申请号： | 202220219572.9 | 申请日： | 2022-01-25 |
| 公开（公告）号： | CN216695518U | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 孟永宏;朱宗洋;杨良 | 申请（专利权）人： | 北京量拓科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人： | 郑雷;庄博强 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区北京经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种入射角扫描的样品相位延迟测量系统，其包括起偏臂、样品台、底部旋转台以及固设在所述底部旋转台上的检偏臂；所述底部旋转台位于所述样品台下方，且所述底部旋转台和样品台同轴设置。本申请具有该系统对不同厚度的样品既可做入射角扫描的透射也可做入射角扫描的反射的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 入射角 扫描 样品 相位 延迟 测量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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