[实用新型]用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备

摘要

本实用新型公开了一种用于PECVD设备的石墨舟及PECVD设备，用于PECVD设备的石墨舟包括：炉口石墨舟组，炉口石墨舟组左边的前端上下分别设有第一炉口电极和第二炉口电极，炉口石墨舟组左边的后端上下分别设有第三炉口电极和第四炉口电极，炉口石墨舟组的右边上下分别设有第五炉口电极和第六炉口电极，炉口石墨舟组右边的后端上下分别第七炉口电极和第八炉口电极；第四炉口电极和第六炉口电极输入正电极电流，第二炉口电极和第八炉口电极输入负电极电流；炉尾石墨舟组，炉尾石墨舟组连接于炉口石墨舟组；绝缘组件，绝缘组件设置于炉口石墨舟组的中间。本实用新型将正负极结构设置于炉口位置，且正负电极输入结构位于同一炉口侧，则电极结构维护方便快捷。