[实用新型]一种刻蚀清洗机硅片烘干装置有效
| 申请号： | 202220117116.3 | 申请日： | 2022-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN216558160U | 公开（公告）日： | 2022-05-17 |
| 发明（设计）人： | 梁建 | 申请（专利权）人： | 釜川（无锡）智能科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B15/12 | 分类号： | F26B15/12;F26B21/00;F26B25/02;F26B25/06 |
| 代理公司： | 青海中赢知识产权代理事务所(普通合伙) 63104 | 代理人： | 张艳花 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种刻蚀清洗机硅片烘干装置，涉及光伏自动化设备领域。该刻蚀清洗机硅片烘干装置，过滤箱，所述过滤箱前端设有风机主体；连接板，所述连接板顶部设有风刀盒，所述风刀盒内腔固定连接有上风刀，所述上风刀底部开设有上出风口，所述上风刀顶部固定连接有第一风管。该刻蚀清洗机硅片烘干装置，热风从第一风管和第二风管进入上风刀和上出风口内，通过上出风口下出风口斜口吹向从上滚筒和下滚筒经过的硅片主体，当硅片主体经过时，硅片主体上的水在热风的作用下向硅片主体移动的反方向移动，达到硅片主体被吹干的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 刻蚀 清洗 硅片 烘干 装置 | ||
【主权项】：
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