[实用新型]一种刻蚀清洗机硅片烘干装置有效

专利信息
申请号: 202220117116.3 申请日: 2022-01-17
公开(公告)号: CN216558160U 公开(公告)日: 2022-05-17
发明(设计)人: 梁建 申请(专利权)人: 釜川(无锡)智能科技有限公司
主分类号: F26B15/12 分类号: F26B15/12;F26B21/00;F26B25/02;F26B25/06
代理公司: 青海中赢知识产权代理事务所(普通合伙) 63104 代理人: 张艳花
地址: 214000 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 刻蚀 清洗 硅片 烘干 装置
【说明书】:

实用新型公开一种刻蚀清洗机硅片烘干装置,涉及光伏自动化设备领域。该刻蚀清洗机硅片烘干装置,过滤箱,所述过滤箱前端设有风机主体;连接板,所述连接板顶部设有风刀盒,所述风刀盒内腔固定连接有上风刀,所述上风刀底部开设有上出风口,所述上风刀顶部固定连接有第一风管。该刻蚀清洗机硅片烘干装置,热风从第一风管和第二风管进入上风刀和上出风口内,通过上出风口下出风口斜口吹向从上滚筒和下滚筒经过的硅片主体,当硅片主体经过时,硅片主体上的水在热风的作用下向硅片主体移动的反方向移动,达到硅片主体被吹干的效果。

技术领域

本实用新型涉及光伏自动化设备技术领域,具体为一种刻蚀清洗机硅片烘干装置。

背景技术

HIT太阳能光伏电池是以光照射侧的p/i型a-Si膜和背面侧的i/n型a-Si膜夹住单结晶硅片来构成的。HIT太阳能光伏电池基板以硅基板为主,在硅基板上沉积高能隙的硅纳米薄膜,表层再沉积透明导电膜,背面设有背表面电场。通过优化硅的表面结构,可以降低透明导电氧化层和a-Si层的光学吸收损耗。

随着对晶体硅电池的生产工艺的不断改进,电池的硅片在清洗的最后一道工艺会采用“冷水脱水”的方法以使得电池片拥有更好的电性能,因此,硅片由滚筒运输经过刻蚀清洗设备前道工序水洗时会有大量的冷水被带入设备内,影响设备正常运行,且容易影响硅片的生产质量,因此,提出一种刻蚀清洗机硅片烘干装置以解决上述问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型公开了一种刻蚀清洗机硅片烘干装置,以解决上述背景技术中提出的问题。

(二)技术方案

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:一种刻蚀清洗机硅片烘干装置,包括:

过滤箱,所述过滤箱前端设有风机主体;

连接板,所述连接板顶部设有风刀盒,所述风刀盒内腔固定连接有上风刀,所述上风刀底部开设有上出风口,所述上风刀顶部固定连接有第一风管,所述第一风管顶部穿过风刀盒向上延伸;

第一旋转杆,所述连接板顶部设有第一旋转杆,所述第一旋转杆外壁固定连接有下滚筒,所述下滚筒顶部设有硅片主体,所述硅片主体位于上出风口下方。

优选的,所述风刀盒内腔固定连接有下风刀,所述下风刀顶部开设有下出风口,所述下出风口位于硅片主体下方,所述下风刀底部设有第二风管。

优选的,所述连接板顶部设有第二旋转杆,所述第二旋转杆外壁固定连接有上滚筒,所述硅片主体外壁活动插接在上滚筒和下滚筒之间,所述上滚筒和下滚筒活动插接在上出风口和下出风口之间。

优选的,所述下滚筒左端固定连接有第一齿轮,所述上滚筒左端固定连接有第二齿轮,所述下滚筒左端固定连接的第一齿轮与上滚筒左端固定连接的第二齿轮啮合连接。

优选的,所述过滤箱左端设有连接管,所述第一风管上端活动插接在连接管内,所述连接管外壁设有风阀。

优选的,所述过滤箱左壁开设有凹槽,所述过滤箱左壁开设的凹槽内壁互动插接有移动板。

本实用新型公开了一种刻蚀清洗机硅片烘干装置,其具备的有益效果如下:

1、该刻蚀清洗机硅片烘干装置,通过设置第一旋转杆、下滚筒、第二旋转杆、上滚筒和硅片主体的位置关系,使得下滚筒转动带动上滚筒同时转动,使得带动硅片主体向后移动,再通过上风刀、上出风口、下风刀、下出风口与硅片主体的位置关系,热风从第一风管和第二风管进入上风刀和上出风口内,通过上出风口下出风口斜口吹向从上滚筒和下滚筒经过的硅片主体,当硅片主体经过时,硅片主体上的水在热风的作用下向硅片主体移动的反方向移动,达到硅片主体被吹干的效果,便于满足硅片主体表面干燥无水渍的工艺需求,也保证硅片主体表面洁净,从而实现硅片经滚筒运输出刻蚀清洗设备后表面干燥,方便硅片后续操作处理。

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