[实用新型]用于防止溅液的晶圆刷洗机有效
| 申请号： | 202220076627.5 | 申请日： | 2022-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN216705248U | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 沈达;万士元;邹祖航;管发海 | 申请（专利权）人： | 吾拾微电子（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种用于防止溅液的晶圆刷洗机，包括：机台；固定机构，设置在机台上以将目标物固定；涂胶机构，设置在固定机构的一侧，且可相对于固定机构移动，以对目标物进行涂胶；清洗机构，设置在固定机构的一侧，且可相对于固定机构移动，以对目标物进行清洗；以及驱动机构，设置在机台上；其中，固定机构包括形成有腔体的固定壳体、设置在固定壳体内的固定件，驱动机构包括与固定壳体连接的第一驱动件，第一驱动件驱动固定壳体沿机台的高度方向移动。通过上述，其能够提高清洁效率、且能够防止水溅射。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 防止 刷洗 | ||
【主权项】：
暂无信息
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